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历史招中标信息33943条
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| 1 | ****点击查看 | 中标 | 549000.00元 | |
| 设计、制造小行程三轴数控精密位移平台 | 部/组件及总装/部件 | 型号/件号:①X/Y/Z行程：≥250mm/150mm/35mm；②X/Y/Z定位精度：≤±2.5μm，重复定位精度（双向）：≤±1.0μm；③XY轴最大载重量：≥45kg，Z轴最大载重量：≥10kg | 1 | 套 |
| 开发扫描振镜应用验证与工艺验证的控制功能 | 部/组件及总装/部件 | 型号/件号:①扫描振镜重复定位精度（RMS）：＜15μrad，增益误差：≤55ppm/K；②扫描振镜可实现动态定位激光束、软件监控、光学工艺监控；③控制软件可进行样品定位、激光功率衰减、监测显示及快门开关；④控制软件同时支持定位平台与振镜 | 1 | 套 |
基本情况
上次中标企业: 山东****公司
潜在竞争对手: 共
10
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
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